RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₂O-B₂O₃-SiO₂계 비정질 박막 고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도특성에 관한 연구

노남석 ,  권혁상

한국표면공학회지

1994 .04

RF마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₄SiO₄박막 고체전해질의 이온전도 특성에 관한 연구

김동진 ,  김태현 ,  이홍로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 열처리 공정에 따른 미세구조 및 특성 평가

정재헌 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성

윤상한 ,  이재엽 ,  박창균 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

조상현 ,  이재근 ,  이성호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구

남경훈 ,  한전건

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

마그네트론 스퍼터 증착법으로 증착한 ZnO계 투명전극의 특성과 응용

윤선진 ,  김준관 ,  임정욱

인포메이션 디스플레이

2010 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 방향성을 지닌 $SrTiO_3$ 박막의 제조

남승희 ,  이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

RF Power에 따른 BST박막의 특성

최명률 ,  권학용 ,  박인철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

고주파 마그네트론 반응성 스퍼터링에 의해 제조한 $\textrm{TiO}_2$박막의 미세조직과 광학적 특성

노광현 ,  박원 ,  최건 외 1명

한국재료학회지

1997 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 AlN 박막의 물리적, 화학적 특성에 관한 연구

윤철 ,  김상호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

RF 스퍼터링으로 제작된 Li Ti P 계 고체 전해질 박막에서의 리들 이온 전도 특성

안지수 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01

DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성

송태환 ,  이종권 ,  박소연

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05