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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SiO₂ 절연박막의 구조분석 및 절연저항에 관한 연구
한국표면공학회지
2001 .04
RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
RF마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₄SiO₄박막 고체전해질의 이온전도 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1996 .11
화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
Rf-magnetron Sputtering 장치에 의해 제작된 SiO2가 도핑된 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성
전기전자재료학회논문지
2009 .01
RF 스퍼터링을 이용한 SiO2 / Ta2O5 , SiO2 / ZrO2 박막의 무반사 특성 ( Anti-Reflection Characteristic of SiO2 / Ta205 , SiO2 / ZrO2 Film using the RF Sputter )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
630 스테인리스강 위에 스퍼터 증착한 SiO₂ 박막의 절연저항에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1997 .05
PECVD 공정에 의해 제조된 $SiO_2$ 절연층에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 MgO 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
고주파 마그네트론 스퍼터링에 의한 산화몰리브덴 박막의 제작 및 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .04
The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 공정 변수에 따른 SiO₂, TiO₂ 광학 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 탄화붕소 박막의제조
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
고주파 마그네트론 스퍼터 기법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 미세구조 및 전기적, 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
친환경 차량 모터 절연 시스템 설계
한국자동차공학회 춘계학술대회
2015 .05
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 TiO₂/SiO₂ 광학 필터의 미세구조에 따른 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₂O-B₂O₃-SiO₂계 비정질 박막 고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도특성에 관한 연구
한국표면공학회지
1994 .04
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