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저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2008년 하계종합학술대회
발행연도
2008.6
수록면
481 - 482 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

MDDR(Mobile Double Data Rate) DRAM의 WSix Peeling 불량 해결 연구
채한용 ,  이성영 ,  박태훈 외 4명 대한전자공학회 학술대회 2008.06 학술대회자료
MDDR(Mobile Double Data Rate) DRAM의 WSix Peeling 불량 해결 연구
채한용 ,  이성영 ,  박태훈 외 4명 대한전자공학회 학술대회 2008.06 학술대회자료

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In this paper, the advanced process has been presented to remove the WSix peeling that was made in sub 100㎚ DRAM SRCAT( Sp here -shap ed-Recess-Ch annel -Array Transistor). The ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결과
참고문헌

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