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이용수
Abstract
1. 서론
2. 턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 작동원리
3. 모델과 연성해석 문제의 이산화(離散化)
4. 해석결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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대한기계학회 논문집 A권
1998 .07
마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors
동력시스템공학회지
2001 .02
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한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
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KSME International Journal
1998 .12
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한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2000 .05
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한국공작기계학회지
2000 .12
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2015 .05
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2000 .04
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1998 .01
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2001 .05
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Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2001 .05
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2004 .08
A Capacitive Silicon Microaccelerometer with Force Balancing Electrodes
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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1992 .02
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