SOI웨이퍼를 이용한 마이크로가속도계 센서의 열응력해석(Ⅰ)

김옥삼

동력시스템공학회지

2001 .05

SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석

정경훈 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Bonded SOI 웨이퍼 제조를 위한 기초연구

문도민 ,  강성건 ,  류근걸 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .05

접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포

이곤섭 ,  박정민 ,  이재선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

SOI 웨이퍼의 열적거동 해석

정경훈 ,  김옥삼

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2000 .05

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

SOI 웨이퍼에 기반한 가스 센서용 실리콘 마이크로 히터 설계

조인철 ,  강경남 ,  박인규

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구

김석구 ,  백운규 ,  박재근

한국재료학회지

2004 .01

A TREND OF SOI WAFER TECHNOLOGY FOR THE NEXT GENERATION DEVICE APPLICATIONS

Ryoo ,  Kun-Kul

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

APPLICATIONS OF SOI DEVICE TECHNOLOGY

Kunkul Ryoo

한국표면공학회지

1996 .10

SOI 웨이퍼의 시드 홀을 이용한 다이오드의 항복 전압과 온 저항 특성

邊大錫 ,  韓民九 ,  崔然益

전기학회논문지

1995 .08

Dependency of SOI & BOX Thickness on trap density of SOI wafers n Pseudo MOS Transistor

손주환 ,  민병호 ,  권종성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색

장판수 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

박막 MOS커패시터의 C-V 특성을 이용한 SOI 웨이퍼의 평가 ( Evaluation of SOI Wafers Using C-V Characteristics of Thin-Fillm MOS Capacitor )

이종욱 ,  양지운 ,  이원창 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01