턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 축전기부 해석

김옥삼

동력시스템공학회지

1999 .11

미소 가속도계 센서의 주울발열 해석 ( Analysis of Joule Heating for Microaccelerometer Sensor )

김옥삼 ,  조의일 ,  박우철 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1998 .01

정전기력을 이용한 마이크로가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정해석

김옥삼

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2000 .04

Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors

O. S. Kim

동력시스템공학회지

2001 .02

미소가속도계 센서의 페블리케이션 공정에서 온도해석

황규영 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식 ,  문승재 ,  유홍희

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2004 .05

마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색

장판수 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

Analyses of the Temperature Distribution at Micromachining Processes for Microaccelerometer Based on Tunneling Current Effect

김옥삼

한국공작기계학회지

2000 .12

정전기력을 이용한 박막구조물의 피로평가 ( Evaluation of Fatigue property through applying electrostatic force to the thin film structural material )

박병우 ,  권동일 ,  부종욱

대한기계학회 춘추학술대회

1998 .01

정전기력을 이용한 구조물 강제 진동의 실험적 연구

이희남 ,  함길

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2018 .10

A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer Manufacturing Processes

Ok Sam Kim

KSME International Journal

1998 .12

미소가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정에서 열적거동 해석

김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

정전기력을 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술

김동수 ,  김정수

기계와 재료

2007 .01

정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석

정강식 ,  문승재 ,  유홍희

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2004 .11

정전기력으로 작동되는 마이크로펌프의 제작

정동건 ,  공대영 ,  홍표환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

Fabrication of Non-MEMS based Electrostatic Nozzle Design For Electrostatic Inkjet System

아산라만 ,  고정범 ,  칼리드 라만 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

어레이 햅틱엑추에이터 성능평가를 위한 박막형 가속도 센서 제조

김현찬 ,  김재환 ,  민승기 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

정전기력 인가에 의한 박막구조물의 미세파괴 특성 분석

이세호 ,  김재석 ,  박유근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

정전기력을 이용한 마이크로 엑츄에이터 소재의 미소 기계적 구동특성 분석

이세호 ,  김재석 ,  손동일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

A Capacitive Silicon Microaccelerometer with Force Balancing Electrodes

Byeoung Ju Ha ,  Yong Soo Oh ,  Byeung Leul Lee 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01