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이용수
Abstract
1. INTRODUCTION
2. DESIGN OF ELECTRODE PATTERN FOR SUSPENSION OF GLASS PLATES
3. STRUCTURE OF TRANSPORTATION DEVICE
4. OPERATIONAL PRINCIPLE
5. EXPERIMENTALWORK
6. CONCLUSIONS
REFERENCES
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2006 .05
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2008 .03
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .06
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .03
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1997 .10
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2006 .09
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2008 .07
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .12
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1987 .11
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2008 .06
자가 검출 방식을 이용한 정전 부상 시스템
제어로봇시스템학회 논문지
2000 .06
대 면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass 접합 ( Design of Electrostatic Bonding Equipment for Large Area and Si-Glass Electrostatic Bonding )
대한전자공학회 학술대회
1995 .07
The Trend of Development on Propulsion System of Electric Propulsion Ship
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2003 .07
대면적 정전접합 장치 고안 및 Si 과 glass 접합
대한전자공학회 학술대회
1995 .06
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