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논문 기본 정보

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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제10호
발행연도
2005.10
수록면
56 - 64 (9page)

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A simple and cost-effective method for the electrostatic suspension of thin plates like silicon wafers is proposed which is based on a switched voltage control scheme. It operates according to a relay feedback control and deploys only a single high-voltage power supply that can deliver a DC voltage of positive and/or negative polarity. This method possesses the unique feature that no high-voltage amplifiers are needed which leads to a remarkable system simplification relative to conventional methods. It is shown that despite the inherent limit cycle property of the relay feedback based control, an excel1ent performance in vibration suppression is attained due to the presence of a relatively large squeeze film damping origination from the air between the electrodes and levitated object. Using this scheme, a 4­inch silicon wafer was levitated stably with airgap variation decreasing down to 1 1㎛ at an airgap of 100 ㎛.
#Electrostatic suspension(정전부상) #Silicon wafer(실리콘웨이퍼) #Relay control(릴레이제어) #Squeeze film effect(스퀴즈필름효과)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 릴레이 제어에 의한 계의 안정화
3. 1 자유도 부상계의 모델링 및 시뮬레이션
4. 다자유도 운동제어 및 전극구조
5. 실험결과 및 고찰
6. 결론
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