Simulation of Electrostatic Suspension System Based On Delay Controller for Use in Vacuum Environment

레티츄엔; 전종업

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 레티츄엔 전종업

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2008.6

수록면: 307 - 308 (2page)

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#Electrostatic suspension #Silicon wafer #Suspension #Time delay #Delay controller #Vacuum environment

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레티츄엔

소속기관 한국정밀공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 2 이용수 30

전종업

소속기관 울산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-018451526

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