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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제11호
발행연도
2005.11
수록면
173 - 181 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계 및 제작
백경록 ,  전종업 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.11 학술저널

2004

Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계 및 제작
백경록 ,  전종업 ,  박규열 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

초록· 키워드

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We report on the design and fabrication of an electrostatic 2-axis MEMS stage possessing a platform with a size of 5×5㎟. The stage, as a key component, would be used in developing probe-based storage devices in the future. It was fabricated by forming numerous 5×5μ㎡ etching holes in the central platform, as a result, reducing the total number of masks to 1, thereby simplifying the whole fabrication process. Experimental results show that the driving range of the stage was 32㎛ at the supplied voltage of 20V and the natural frequency was approximately 300㎐. The mechanical coupling between x- and y-motion was also measured and verified to be 25%.
#Micro stage(마이크로 스테이지) #Electrostatic forces(정전기력) #Scanning Probe Microscope(주사탐침현미경) #Probe(프로브) #Data storage device(정보저장기기)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 스테이지의 구조 및 설계
3. 스테이지의 제작
4. 특성 실험 결과 및 고찰
5. 결론
후기
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