초정밀 스테이지 설계 및 제어 시스템에 관한 연구

박종성; 정규원

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박종성 정규원

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2005.5

수록면: 54 - 59 (6page)

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Recently, the ultra-precision stage is widely used in the fields of the nano-technology, special1y in AFMs(Atomic Force Microscope) and STMs(Scanning Tunneling Microscope). In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. The guide mechanism which consisted of flexure hinges is analyzed by Finite Element Method. And we derived the transfer function of the system in 1st order system from step responses according to the magnitude. We performed simulation for the model to tune the control gain and applied the gains to the developed system. Experimental results found that the stage can be control1ed in 5 ㎚ resolution by PID control1er.

#AFM(Atomic Force Microscope) #STM(Scanning Tunneling Microscope) #Ultra-precision stage #Flexure hinge #PID controller #FEM(Finite Element Method) #Piezoelectric actuator #Ultra-precision linear encoder

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