초정밀 스테이지의 강인 제어

박종성; 정규원

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 박종성 정규원

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제30권 제9호

발행연도: 2006.9

수록면: 1,094 - 1,101 (8page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Recently, a ultra-precision stage is widely used in the fields of the nano-technology, specially in AFMs(Atomic Force Microscope) and STMs(Scanning Tunneling Microscope). In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. The system transfer function of the ultra-precision stage system was derived from the step responses of the system using system identification tool. A H<SUB>∞</SUB> controller was designed using loop shaping method to have robustness for the system uncertainty and external disturbances. For the designed controller, simulations were performed and it was applied to the ultra-precision stage system. From the experimental results it was found that this stage could be controlled with less than 5 nm resolution irrespective of hysteresis and creep.

#Ultra-Precision Stage(초정밀 스테이지) #Piezoelectric Actuator(압전소자 구동기) #Flexure Hinge(탄성 힌지) #Hysteresis(이력현상) #Robust Control(강인 제어) #Weighting Function(가중치 함수)

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

Parao, J. M. and Weisbold L., 1965, "How to Design Flexure HingesNo." Machine Design.

Smith, S. T. and Chetwynd, D. G., 1994, "Foundation of Ultraprecision Mechanism DesignNo." Gordon and Breach Science Publisher, pp. 99~100.

Lee, D. S., Park, J. H. and Park, H. J., 1999, "Ultraprecision Positioning System for Servo Motor-Piezo Actuator Using the Dual Servo Loop and Digital Filter ImplementationNo." Journal of the Korea Society of Precision Engineering, Vol. 16, pp. 154~163.

Kwac, L. K., Kim, J. Y., Yang, D. J., Ko, M. S., You, S. and Kim, K. T., 2002, "Optimal Design of Controller for Ultraprecision Plane X-Y StageNo." Journal of the Korea Society of Precision Engineering, pp. 342~347.

Kim, J. Y., Lee, B. R., Yang, S. Y. and Ahn, K. K., 2003, "Precision Position Control of Piezoactuator Using Inverse Hysteresis Model and Neuro-PID ControllerNo." Journal of Control, Automation and Systems Engineering, Vol. 9, No. 1, pp. 22~29.

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

박종성

소속기관 국립환경과학원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 15 이용수 2,213

Kyuwon Jung

소속기관 충남대학교

주요연구분야 공학 > 공학 일반 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 81 이용수 4,628

이 논문과 함께 이용한 논문

나노 변위확대기구의 정밀위치결정기구에 관한 연구

박창용 , 권현규 , 조지준 한국기계가공학회지 2013 .02

고진공 환경중 고출력 초음파 모터 이송 스테이지의 나노미터 위치 제어

김완수 , 이동진 , 이선규 대한기계학회 논문집 A권 2010 .11

초정밀 스테이지 설계 및 제어에 관한 연구

박종성 , 정규원 한국생산제조학회지 2006 .06

슬라이딩 모드 관측기 기반의 정밀 스테이지 위치 제어

최승옥 , 최인성 , 유관호 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 .10

초정밀 스테이지를 위한 2차 모델 기반의 강건 제어

박종성 , 정규원 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006 .05

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-017297963

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (11)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)