Simulation and Control performance evaluation of Ultra-Precision Single Plane X-Y Stage

Ki-Hyung Park; Jea-Yoel Kim; Lee-Ku Kwac

Simulation and Control performance evaluation of Ultra-Precision Single Plane X-Y Stage

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초정밀 평면 X-Y 스테이지의 시뮬레이션 및 제어성능 평가

Type: Academic journal

Author: Ki-Hyung Park Jea-Yoel Kim Lee-Ku Kwac

Journal: The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Vol.11 No.5 KCI Accredited Journals

Published: 2002.10

Pages: 65 - 72 (8page)

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Simulation and Control performance evaluation of Ultra-Precision Single Plane X-Y Stage

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2. 모델링
3. 최적 제어계 구성
4. 실험 및 고찰
5. 결론
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