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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
463 - 470 (8page)

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The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. From the step responses of the system, the system transfer function of the ultra-precision stage system was derived by a second order model system. In order to have robustness for the system uncertainty and external disturbances, the weighting functions were selected and the H∞ controller was designed using them. For the designed controller, the simulation was performed and the designed stage system was applied. Experimental results found that this stage could be controlled below 5㎜ resolution and irrespective of hysteresis and creep by this designed controller.
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Scanning Tunnelling Microscope(주사탐침 현미경) #Ultra-precision stage(초정밀 스테이지) #Finite Element Method(유한요소법) #Piezoelectric actuator(압전소자 구동기) #Flexure hinge(탄성 힌지) #Hysteresis(이력현상) #Robust control(강인 제어) #Weighting function(가중치 함수)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 구성 및 제어
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-016174101