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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템 구성
3. 시스템 특성
4. 전체제어특성
5. 결론
참고문헌
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전자빔 가공기용 진공 5 축 스테이지의 제어 및 운동특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(上)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .06
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(下)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .10
VCM을 이용한 노광기용 정밀 레티클 스테이지의 저진동 제어시스템 개발
한국생산제조학회지
2008 .08
초정밀 위치결정 기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .12
SPM 용 Long Range 초정밀 스테이지 개발 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
투영노광장치용 고속.고정밀 Stage계의 연구동향
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .03
평판디스플레이 노광장비용 초박형 마스크스테이지 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공
기계저널
2010 .06
실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
1999 .10
실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .06
반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2017 .04
초정밀 스테이지용 능동 진동제어시스템 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
반도체 생산에서 초정밀 길이 측정 ( Precision Measurements for Integrated Circuit Fabrication )
대한기계학회지
1993 .02
초정밀 마이크로 위치결정 스테이지의 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
초정밀 절삭가공의 현상과 향후 동향
기술사
1990 .01
초정밀 Decoupled 이중 스테이지의 설계 및 제어
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
전자빔의 파라미터에 따른 노광특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .06
초정밀 6자유도 스테이지의 모델링 및 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
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