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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
신현표 (삼성전기)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.30 No.1
발행연도
2013.1
수록면
105 - 112 (8page)

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This paper presents the structural design and finite element analysis of precision stage based on a double triangular parallel mechanism for precision positioning and large force generation. Recently, with the acceleration of miniaturization in mobile appliances, the demand for precision aligning and bonding has been increasing. Such processes require both high precision and large force generation, which are difficult to obtain simultaneously. This study aimed at constructing a precision stage that has high precision, long stroke, and large force generation. Actuators were tactically placed and flexure hinges were carefully designed by optimization process to constitute a parallel mechanism with a double triangular configuration. The three actuators in the inner triangle function as an in-plane positioner, whereas the three actuators in the outer triangle as an out-of-plane positioner. Finite element analysis is performed to validate load carrying performances of the developed precision stage.

목차

1. 서론
2. 스테이지의 기구학적 구조
3. 플렉셔 힌지의 설계 최적화
4. 유한요소해석
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (1)

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