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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.4
- 수록면
- 228 - 233 (6page)
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An ultra-precision stage is used in many industrial areas such as precision machine tools or semiconductor apparatus. These stages used to be driven by piezoelectric actuators in order to obtain ultra precision positioning resolution. Piezoelectric actuator can be moved fast in nanometer resolution. However, it has relatively large non-linear characteristics like hysteresis and creep curve. Although several kinds of control techniques have been developed, controller design method is still complicated. In this paper fuzzy control rules are developed intuitively. In order to verify the performance a series of experiments were conducted and the results were compared with those of the PID controller case.
목차
Abstract
1. 서론
2. 초정밀 스테이지의 퍼지 제어기 개발
3. 퍼지 제어 실험 및 결과
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (10)
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1. [학술지(정기간행물)] - Jeong, S. H / 2006 / A Study on the Motion Mechanism of Multi-Axis Ultra Precision Stage for Optical Element Alignment / Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers 15 (1) : 8 ~ 16
2. [학술지(정기간행물)] - Ge, P / 1996 / Tracking Control of a Piezoceramic Actuator / IEEE Trans. on Control Systems Technology 4 (3) : 209 ~ 216
3. [학술지(정기간행물)] - Newcomb, C / 1985 / Improving the Linearity of Piezoelectric Ceramic Actuators / Electronics Letters 18 (11) : 442 ~ 443
4. [학술지(정기간행물)] - Li, C. J / 1993 / Nonlinear Piezo-Actuator Control by Learning Self- Tuning Regulator / Journal of Dynamic Systems, Measurement, and Control 115 : 720 ~ 723
5. [학술지(정기간행물)] - Jung S. B / 1994 / Improvement of scanning accuracy of PZT piezoelectric actuators by feed-forward model reference control / Precision Engineering 16 (1) : 49 ~ 55
2. [학술지(정기간행물)] - Ge, P / 1996 / Tracking Control of a Piezoceramic Actuator / IEEE Trans. on Control Systems Technology 4 (3) : 209 ~ 216
3. [학술지(정기간행물)] - Newcomb, C / 1985 / Improving the Linearity of Piezoelectric Ceramic Actuators / Electronics Letters 18 (11) : 442 ~ 443
4. [학술지(정기간행물)] - Li, C. J / 1993 / Nonlinear Piezo-Actuator Control by Learning Self- Tuning Regulator / Journal of Dynamic Systems, Measurement, and Control 115 : 720 ~ 723
5. [학술지(정기간행물)] - Jung S. B / 1994 / Improvement of scanning accuracy of PZT piezoelectric actuators by feed-forward model reference control / Precision Engineering 16 (1) : 49 ~ 55
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