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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.10
수록면
37 - 42 (6page)

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The scanning electron microscope(SEM) is an important research and production tool extensively used in many phases of industry throughout the world. The popularity of the instrument results from the need to inspect and obtain information about samples with ever-decreasing structure. The SEM provides higher resolution analysis and inspection than that afforded by current techniques using the optical microscope. Furthermore, unlike the optical microscope, the SEM offers a wide variety of analytical modes, each contributing unique information regarding the physical, chemical, and electrical properties of a particular specimen, device, or circuit.
#FE-SEM #Field Emission #Magnetic Lens #Column #Chamber

목차

Abstract
1. 서론
2. 복합 (FE/Thermal) SEM 구성
3. 결론
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