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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
235 - 240 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2009

유한요소해석과 광선추적을 연계한 주사전자 현미경 대물렌즈의 설계 및 해석
박근 ,  이재진 ,  박만진 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.11 학술저널

2007

유한요소법을 사용한 주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석에 관한 연구
박근 ,  정현우 ,  박만진 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.09 학술저널
열전자방사형 주사전자 현미경 전자광학계의 유한요소해석
박근 ,  정현우 ,  김동환 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 유한요소해석
박근 ,  박만진 ,  김동환 외 1명 대한기계학회 논문집 A권 2006.12 학술저널
전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 수치해석
박근 ,  박만진 ,  김동환 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

초록· 키워드

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The present study covers the design and analysis of a thermionic scanning electron microscope (SEM) column. The SEM column contains an electron optical system in which electrons are emitted and moved to form a focused beam, and this generates secondary electrons from the specimen surfaces, eventually making an image. The electron optical system mainly consists of a thermionic electron gun as the beam source, the lens system, the electron control unit, and the vacuum unit. In the design process, the dimension and capacity of the SEM components need to be optimally determined with the aid of finite element analyses. Considering the geometry of the filament, a three-dimensional (3D) finite element analysis is utilized. Through the analysis, the beam emission characteristics and relevant trajectories are predicted from which a systematic design of the electron optical system is enabled. The validity of the proposed 3D analysis is also discussed by comparing the directional beam spot radius. As a result, a prototype of a thermionic SEM is successfully developed with a relatively short time and low investment costs, which proves the adoptability of the proposed 3D analysis.
#Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Thermionic Emission(열전자방사) #Electro-magnetic Lens(전자렌즈) #Finite Element Analysis(유한요소해석)

목차

Abstract
1. 서론
2. 열전자 주사전자현미경의 전자광학계
3. 전자광학계 해석을 위한 이론적 배경
4. 전자광학계의 유한요소 해석
5. 결론
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