SEM용 전자검출기의 제작 및 성능평가

김지원; 전종업; 부경석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김지원 전종업 부경석

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2007.5

수록면: 229 - 234 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

SEM용 전자검출기의 제작 및 성능평가

김지원 , 전종업 , 부경석 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

SEM용 전자 검출기의 설계 및 제작

김지원 , 부경석 , Ten Aleksey-Deson 외 4명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

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The nature of the signal collected by an SEM(Scanning Electron Microscope) in order to form images are all dependent on the detector used to collect them, and the quality of an acquired images is strongly influenced by detector performance. Therefore, the development of detector with high performance is very important for improving on the resolution of SEM. This paper presents the manufacture of secondary electron detector and the optimal position of electron detector through numerical analysis in SEM.

#Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Electron Detector(전자검출기) #Scintillator(신틸레이터) #Numerical Analysis(수치해석)

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