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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.9
발행연도
2007.9
수록면
95 - 102 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2009

유한요소해석과 광선추적을 연계한 주사전자 현미경 대물렌즈의 설계 및 해석
박근 ,  이재진 ,  박만진 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.11 학술저널

2007

유한요소법을 사용한 주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석에 관한 연구
박근 ,  정현우 ,  박만진 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.09 학술저널
열전자방사형 주사전자 현미경 전자광학계의 유한요소해석
박근 ,  정현우 ,  김동환 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 유한요소해석
박근 ,  박만진 ,  김동환 외 1명 대한기계학회 논문집 A권 2006.12 학술저널
전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 수치해석
박근 ,  박만진 ,  김동환 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

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The scanning electron microscope(SEM) is one of the most popular instruments available for the measurement and analysis of the micro/nano structures. It is equipped with an electron optical system that consists of an electron beam source, magnetic lenses, apertures, deflection coils, and a detector. The magnetic lenses playa role in refracting electron beams to obtain a focused spot using the magnetic field driven by an electric current from a coil. A SEM column usually contains two condenser lenses and an objective lens. The condenser lenses generate a magnetic field that forces the electron beams to form crossovers at desired locations. The objective lens then focuses the electron beams on the specimen. The present work concerns finite element analysis for the electron magnetic lenses so as to analyze their magnetic characteristics. To improve the performance of the magnetic lenses, the effect of the excitation current and pole-piece design on the amount of resulting magnetic fields and their peak locations are analyzed through the finite element analysis.
#Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Finite Element Analysis(유한요소해석) #Electro-magnetic Lens(전자렌즈) #Electron optical system(전자광학계)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 주사전자현미경의 전자광학계
3. 유한요소법을 이용한 자기장 해석
4. 전자렌즈계의 자기장특성 해석
5. 결론
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