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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 1997년도 추계종합학술대회 논문집 Vol.20 No.2
발행연도
1997.11
수록면
556 - 559 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1998

MCM/PCB 회로패턴 검사에서 SEM의 전자빔을 이용한 측정방법 ( Characterization Method for Testing Circuit Patterns on MCM/PCB Modules with Electron Beams of a Scanning Electron Microscope )
김준일 ,  신준균 ,  지용 전자공학회논문지-D 1998.09 학술저널

1997

SEM의 전자빔을 이용한 회로패턴 개방/단락 검사
김준일 ,  신준균 ,  한상권 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1997.11 학술대회자료
SEM의 전자빔을 이용한 회로패턴 개방 / 단락 검사 ( Open / Short Testing of Circuits with Electron Beams of a Scanning Electron Microscope )
김준일 ,  신준균 ,  한상권 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1997.11 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. e-beam 측정검사원리
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
Ⅴ. 참고문헌

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