전계방출을 이용한 전자현미경의 설계 및 제작

장동영; 김동환; 박근; 박만진; 양희남; 김충수; 정현우; 한동철

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저자정보: 장동영 김동환 박근 박만진 양희남 김충수 정현우 한동철

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2006.5

수록면: 9 - 16 (8page)

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A scanning electron microscope (SEM) is well known as a measurement and analysis equipment in nano technology, being widely used as a crucial one in measuring objects or analyzing chemical components. It is equipped with an electron optical system that consists of an electron beam source, electromagnetic lenses, and a detector. The present work concerns numerical analysis for the electron optical system so as to facilitate design of each component. Through the numerical analysis, we investigate trajectories of electron beams emitted from a nano-scale field emission tip, and compare the result with that of experimental observations. Effects of various components such as electromagnetic lenses and an aperture are also discussed.

#Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Field Emission(전계방출) #Electro-magnetic Lens(전자렌즈) #Finite Element Analysis(유한요소해석)

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