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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
84 - 87 (4page)

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소형주사전자현미경용 전자광학계의 개발
박만진 ,  김일해 ,  김동환 외 2명 한국생산제조학회지 2007.10 학술저널
소형주사전자현미경용 전자광학계의 개발
박만진 ,  김일해 ,  김동환 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료
미니형 주사전자 현미경의 설계 및 제어
박만진 ,  김동환 ,  김영대 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

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The most powerful analytical equipment usually comes at the cost of having the highest demand for space. Where electron microscopes has traditionally required a room to themselves, not just for reasons of their size but because of ancillary demands for pipes and service. The simple optical microscopes, of course, can occupy the desk-top, but because their performance is limited by the wavelength of light, their powers of magnification and resolution are inferior to that of the electron microscope. This new technique extends the scope of SEM as a high-resolution microscope, relatively cheap and widely available imaging tool, for a wider variety of samples.
#Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Thermionic Emission(열전자방사) #Electro-magnetic Lens(전자렌즈)

목차

Abstract
1. 서론
2. Electron gun and irradiation system
3. Electron lens design & analysis
4. 결론
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