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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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Frequency Response Analysis of Electrostatic Microactuators
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
정전형 마이크로 액튜에이터의 정밀위치제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .11
수평공진형 미소 정전기액추에이터를 위한 미소보 현수시스템의 설계 ( Design of Micromechanical Flexure Suspensions for Laterally-Resonating Electrostatic Microactuators )
대한기계학회 논문집
1995 .12
열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1997 .12
회전구동형 마이크로액츄에이터 전극의 최적형상
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
수평구동형 정전반발력 마이크로액추에이터 ( Laterally-Driven Electrostatic Repulsive-Force Microactuator )
대한기계학회 논문집 A권
2001 .03
정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2004 .05
정전기력을 이용한 미소기전 구동기의 고유치 변화 해석에 관한 연구 ( Numerical Approach for Frequency-Shifting Analysis of Electrostatic Micro-Mechanical Actuator )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .06
형상기억합금을 이용한 초소형 액츄에이터
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1996 .09
정전기력을 이용한 박막구조물의 피로평가 ( Evaluation of Fatigue property through applying electrostatic force to the thin film structural material )
대한기계학회 춘추학술대회
1998 .01
정전기력을 이용한 구조물 강제 진동의 실험적 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2018 .10
산화물 전극을 이용한 압전 마이크로 액츄에이터 제작 및 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
정전기력을 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술
기계와 재료
2007 .01
자기변형 마이크로 작동기의 설계
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .05
정전기력 인가에 의한 박막구조물의 미세파괴 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
삼각 팁을 이용한 저전압 구동형 정전방식 마이크로액추에이터 ( Electrostatic Microactuators operated at low drive voltage Using Triangular Tip )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
정전기력으로 작동되는 마이크로펌프의 제작
대한전자공학회 학술대회
2012 .06
Graphene-Based Microactuators
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2011 .04
정전형 inchworm 마이크로 액튜에이터의 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
HDD용 압전형 마이크로엑츄에이터의 동특성 규명
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2000 .11
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