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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 2000年度 秋季學術大會 論文集
발행연도
2000.10
수록면
118 - 122 (5page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀위치결정기구의 동역학적 모델링 과정적특성 검토
3. 제어기 설계
4. 초정밀위결정기구의 시스템 구성과 컴퓨터 시뮬레이션
5. 초정밀위결정기구의 위치결정 실험
6. 결론
후기
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