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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2002.5
수록면
348 - 352 (5page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀 평면 X-Y 스테이지의 최적 설계
3. 시스템 구성 및 구동 프로그램
4. 결론
후기
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