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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제17권 제3호
발행연도
2000.3
수록면
158 - 164 (7page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. Design issues of Fine stage
3. Analysis procedures of the proposed system
4. Experimental results
5. 결론
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