SOI MOS 소자의 제조 ( The Fabrication of SOI MOS device )

조찬섭 ,  양천순 ,  이종현

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

Pseudo MOSFET을 이용한 Nano SOI 웨이퍼의 전기적 특성분석

권경욱 ,  김병길 ,  배영호

전기전자재료학회논문지

2005 .01

SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석

정경훈 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

SOI MOS 트랜지스터의 Substrate Floating 효과 ( Substrate Floating Effects of SOI MOS Transistors )

유종선 ,  강상원

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

다중 게이트를 이용한 SOI Thin Film Transistor의 특성에 관한 연구

신경식 ,  이성준 ,  김철주

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

박막 MOS커패시터의 C-V 특성을 이용한 SOI 웨이퍼의 평가 ( Evaluation of SOI Wafers Using C-V Characteristics of Thin-Fillm MOS Capacitor )

이종욱 ,  양지운 ,  이원창 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구

김석구 ,  백운규 ,  박재근

한국재료학회지

2004 .01

A TREND OF SOI WAFER TECHNOLOGY FOR THE NEXT GENERATION DEVICE APPLICATIONS

Ryoo ,  Kun-Kul

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

APPLICATIONS OF SOI DEVICE TECHNOLOGY

Kunkul Ryoo

한국표면공학회지

1996 .10

Bonded SOI 웨이퍼 제조를 위한 기초연구

문도민 ,  강성건 ,  류근걸 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .05

접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포

이곤섭 ,  박정민 ,  이재선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

SiO₂/SOI 구조의 계면트랩밀도 측정

강희성 ,  이석하 ,  안창근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

SiO2 / SOI 구조의 계면트랩밀도 측정 ( Evaluation of Interface Trap Density of SiO2 / SOI Structure )

강희성 ,  이석하 ,  안창근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

INTERFACE TRAP DENSITY OF A NOVEL BODY-TIED SOI nMOSFET BY WAFER BONDING

Won Gu Kang ,  Jong Son Lyu ,  Sang Won Kang 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01