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마이크로 표면 구조물을 갖는 CMP 패드 제작 기술 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .05
CMP Pad 표면 변화를 통한 초기 Polishing 특성 향상
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .03
CMP 공정에서의 패드 물성변화 및 입자 거동에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
패드의 점탄성 거동이 마이크로 패턴 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP 공정에서 입자-패드간 다양한 접촉상황에 대한 시뮬레이션 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
CMP공정에서 웨이퍼-패드의 실접촉면적 분포에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .11
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 공정 후의 오염 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
Conditioner disk의 diamond의 형상에 따라 Polishing Pad에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Diamond의 접촉 조건에 따른 Polyurethane pad의 마모특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
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