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드라이펌프 배기성능 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
고효율 대유량 터보형 드라이펌프 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
반도체 공정용 드라이펌프의 에너지 소비 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 공정용 드라이펌프의 저소비 전력 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
실시간 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
드라이펌프의 공정현장 적응성 평가에 따른 유량 대비 성능변화 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
공정현장 적응능력 평가를 위한 압력별 유량에 따른 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
반도체 공정의 에너지 저감에 따른 드라이펌프의 에너지 소비특성 평가 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
드라이 펌프(iQDP) 최신제품
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
홀 방식 이온빔 소스의 채널 및 자기장 구조에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
플라즈마 기술의 상업화 사례
진공이야기
2018 .12
플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
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