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드라이펌프 배기성능 평가
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공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
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2014 .02
고효율 대유량 터보형 드라이펌프 기술 개발
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2011 .08
반도체 공정용 드라이펌프의 에너지 소비 분석
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2008 .08
공정현장 적응능력 평가를 위한 압력별 유량에 따른 드라이펌프의 실시간 특성분석
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2013 .08
반도체 공정의 에너지 저감에 따른 드라이펌프의 에너지 소비특성 평가 분석
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2014 .08
반도체 공정용 드라이펌프의 저소비 전력 특성 분석
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2008 .02
첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발
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2009 .08
드라이펌프의 공정현장 적응성 평가에 따른 유량 대비 성능변화 특성 분석
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2006 .08
Smart형 PMS를 이용한 진공펌프 상태진단 기술 개발 연구
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2012 .02
드라이 에칭 프로세스의 플라즈마 쉬스 모델링
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2007 .08
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
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2017 .02
실 공정에서의 저진공 드라이펌프의 에너지 소비량 연구
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2017 .08
첨단공정용 드라이펌프 유량 측정 한계 향상기술 개발
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
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2015 .08
소형(600l/min 급) 공랭식 건식진공펌프 기술 개발 연구
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2012 .02
간단한 조합펌프의 진공 특성
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2012 .08
[진공기술의 현재와 미래] 다단 루츠 드라이 진공펌프 기술 개발
진공이야기
2015 .12
신제품
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1993 .01
Bacillus Subtilis의 단백질 용해성을 이용한 육류의 드라이 에이징 활용 가능성 탐구
한국미생물학회 학술대회논문집
2017 .04
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