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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이상원 (이서)
저널정보
한국진공학회 진공이야기 진공이야기 제5권 제4호
발행연도
2018.12
수록면
13 - 18 (6page)
DOI
10.5757/vacmac.5.4.13

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목차

1. 서론
2. 플라즈마 발생장치
3. 랑뮈어 프로브
4. 아크 디텍터
5. 임피던스 정합장치
6. 맺음말
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