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반도체 공정용 드라이펌프의 에너지 소비 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 공정의 에너지 저감에 따른 드라이펌프의 에너지 소비특성 평가 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
공정현장 적응능력 평가를 위한 압력별 유량에 따른 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
드라이펌프 배기성능 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
반도체 공정용 진공 펌프의 에너지 소비특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
고효율 대유량 터보형 드라이펌프 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
드라이펌프의 공정현장 적응성 평가에 따른 유량 대비 성능변화 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
건식 진공펌프에서의 소비전력과 펌프의 특성들의 상관관계 비교실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Smart형 PMS를 이용한 진공펌프 상태진단 기술 개발 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
펌프 내구성에 영향을 주는 반도체 공정 부산물 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
드라이 에칭 프로세스의 플라즈마 쉬스 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
실 공정에서의 저진공 드라이펌프의 에너지 소비량 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
드라이 펌프(iQDP) 최신제품
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
반도체 산업에 있어서의 진공 펌프 소비 전력 절감 방안
Applied Science and Convergence Technology
2008 .07
반도체 공정중에서 펌프내에 생성되는 부가물의 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
첨단공정용 드라이펌프 유량 측정 한계 향상기술 개발
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
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