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공정현장 적응능력 평가를 위한 압력별 유량에 따른 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
드라이펌프 배기성능 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
고효율 대유량 터보형 드라이펌프 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
반도체 공정용 드라이펌프의 저소비 전력 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반도체 공정용 드라이펌프의 에너지 소비 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 공정의 에너지 저감에 따른 드라이펌프의 에너지 소비특성 평가 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
첨단공정용 드라이펌프 유량 측정 한계 향상기술 개발
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Smart형 PMS를 이용한 진공펌프 상태진단 기술 개발 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
드라이 에칭 프로세스의 플라즈마 쉬스 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
실 공정에서의 저진공 드라이펌프의 에너지 소비량 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
드라이 펌프(iQDP) 최신제품
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
소형(600l/min 급) 공랭식 건식진공펌프 기술 개발 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
저진공펌프의 복합 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
간단한 조합펌프의 진공 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
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