AZO와 ZnO의 ICP를 이용한 식각특성비교

이학주; 정호영; 김두영; 이내응

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이학주 정호영 김두영 이내응

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 93 - 93 (1page)

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2007

AZO와 ZnO의 ICP를 이용한 식각특성비교

이학주 , 정호영 , 김두영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

ICP를 이용한 $BCl_3/CH_4/H_2/Ar$, $Cl_2/CH_4/H_2/Ar$ chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교

이학주 , 권봉수 , 김현우 외 4명 한국재료학회 학술발표대회 2007.01 학술대회자료

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1% 공학 > 기타공학 > 교통공학

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정호영

소속기관 고려대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 6 이용수 343

김두영

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 56

이내응

소속기관 Sungkyunkwan University

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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Enhancement the optical property of AZO Film with wet etching process

So-Hyoun Jeon , Hyeon-Jin Seo , Jung-Hoon Yu 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2013 .11

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