Halogen - based Inductively Coupled Plasma에서의 Ag 식각 특성에 대한 연구

박상덕 ,  이영준 ,  홍문표 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Inductively Coupled Plasma의 Numerical Simulation

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Shallow trench 식각 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거동향 연구

이영준 ,  황순원 ,  김현수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Two - dimensional simulation of inductively coupled large - area plasma source

S. E. Pa ,  k ,  J. K. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Ferromagnetic Module을 적용한 내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) 소스의 특성에 관한 연구

홍승표 ,  임종혁 ,  김경남 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

유도결합형 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 shallow trench 식각특성에 관한 연구

이영준 ,  이주훈 ,  안경준 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

평판형 유도결합플라즈마를 이용한 RF 스퍼터 식각반응로 제작 및 특성에 관한 연구

이원석 ,  이진호 ,  염근영

Applied Science and Convergence Technology

1995 .06

Determination of major and minor components in metals by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS), laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS) and X-ray fluorescence spectrometry(XRF)

Kiwook Kim ,  Jisook Min

한국분석과학회 학술대회

2011 .05

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

The electron cyclotron resonance (ECR) at various conditions in the inductively coupled plasma(ICP)

정진욱 ,  김성식 ,  이상원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

ICP 식각 공정에서의 컨택홀의 기울어진 식각 프로파일

김창목 ,  임노민 ,  이현우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Inductively Coupled Plasma 방전의 Global Modelling 과 Simulation

유광일 ,  윤남석 ,  황순모

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

유도결합 Cl₂ 및 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구

이주훈 ,  이영준 ,  김현수 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma

Jun-Hyeon Moon ,  Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System

Tae Hyung Kim ,  Geun Young Yeom

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09