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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.7
- 수록면
- 1,163 - 1,164 (2page)
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Adhesion Change of AZO/PET Film by ZrCu Insertion Layer
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이 논문의 저자 정보
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Inductively Coupled Plasma Etching of AZO and ZnO in CI2/CH4/H2/Ar and BCI₃/CH4/H2/Ar Chemistries
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