ICP-RIE를 이용한 실리콘 식각에 미치는 플루오르계 반응 가스의 영향

김상헌; 정성목; 김영환

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저자정보: 김상헌 (한국과학기술연구원) 정성목 (한국과학기술연구원) 김영환 (한국과학기술연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2009.8

수록면: 246 - 246 (1page)

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