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다양한 산성 용액에 따른 AZO (Al doped ZnO) 박막의 식각 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
ZnO 박막의 압전특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Power 및 temperature에 의한 증착률 변화와 Al-doped ZnO의 특성변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
공정 압력에 따라 스퍼터된 Al 도핑 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2013 .09
후열처리에 따른 스퍼터된 ZnO : Al 박막의 전기적, 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2013 .01
상온에서 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 두께에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
RF magnetron sputtering법으로 제작된 AZO 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
AZO와 ZnO의 ICP를 이용한 식각특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
열처리된 ZnO 박막의 광학적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
기판온도변화에 따른 ZnO : Al 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
RF Sputtering 방법으로 증착시킨 ZnO:Ag 박막의 광학적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
원자층증착법으로 ZnO:Al과 Al₂O₃를 코팅한 ZnO 나노막대의 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2010 .09
RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
고성능 투명박막트랜지스터 Source/Drain용 AZO박막 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
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