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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.5
수록면
320 - 320 (1page)

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2004

초정밀 스테이지의 반복정밀도 분석 및 보정
박종하 ,  황주호 ,  박천홍 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료
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박종하 ,  황주호 ,  박천홍 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

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#공기정압스테이지(Aerostatic stage) #리니어모터(Linear motor) #레이저 간섭계(Laser interferometer) #굴절율(Refractive index) #반복정밀도(Repeatability) #위치결정정밀도(Positioning accuracy)

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