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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
237 - 241 (5page)

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The heterodyne He-Ne laser interferometer is the most widely used system to measure the position error. It measures the positioning error from the displacement of a moving reflector in terms of the wave length. But, the wave length is affected by the variation of atmospheric temperature. Temperature variation of 1℃ results in the measuring error of 1ppm. In this paper, for measuring the position error of the ultra precision stage more accurately, the refractive index compensation method is introduced. The wave length of the laser interferometer is compensated using the simultaneously measured the variation of room temperature in the method. In order to investigate the limit of compensation, the stationary test against two fixed reflectors mounted on the zerodur plate is performed firstly. From the experiment, it is confirmed that the measuring error of the laser interferometer can be improved from 0.34㎛ to 0.11㎛ by the application of the method. Secondly, for the verification of the compensating effect, it is applied to estimate the positioning accuracy of a ultra precision aerostatic stage. Two times of the refractive index compensation are performed to acquire the positioning error of the stage from the initially measured data, that is, to the initially measured positioning error and to the measured positioning error profile after the NC compensation. Although the positioning error of the aerostatic stage cannot be obtained clearly, it is known that by the compensation method, the measuring error in the laser interferometer can be improved to within 0.1㎛ in the practical measurement on ultra precision stage.
#Aero static stage(공기정압 스테이지) #Laser interferometer(레이저 간섭계) #Positioning error(위치 오차) #Repeatability(반복능) #Refractive index compensation(굴절률 보정)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치의 구성
3. 공기정압 스테이지의 위치결정특성
4. 레이저간섭계의 굴절률 보정
5. 공기정압 스테이지 측정오차 보정
6. 결론
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