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에어베어링을 이용한 회전형 스테이지 설계에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2007 .01
Performance Analysis of Scaffold Fabrication System Based on Micro-stereolithography Technology
한국기계기술학회지
2012 .01
초정밀 스테이지의 반복정밀도 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
고속ㆍ고하중용 나노구동 스테이지의 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
탄성힌지를 이용한 초정밀 통신용 미러 구동 6축 메커니즘 구현과 실험적 강성 모델링
한국인터넷방송통신학회 논문지
2019 .01
AFM 스캐너용 초정밀 스테이지 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
유연힌지형 정밀스테이지의 모델링 및 진동제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2009 .04
초정밀 6자유도 스테이지의 모델링 및 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
PZT를 이용한 초정밀 회전형 스테이지 개발
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
초정밀 스테이지 요소 기술 : 공압베어링과 레이저간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
초정밀 마이크로 위치결정 스테이지의 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
초정밀 스캐닝 스테이지를 위한 고분해능, 대변위의 MEMS 용량형 변위센서
대한전자공학회 학술대회
2006 .06
진동 실험을 바탕으로 한 등가 스테이지 모델링
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2009 .11
초정밀 마이크로 위치결정 스테이지의 제작 및 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
나노 임프린트 장비의 정밀도 확보를 위한 Z축 변위 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
정밀 스테이지의 기구 동역학 해석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2007 .03
초정밀 Decoupled 이중 스테이지의 설계 및 제어
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
초정밀스테이지의 위치결정정도 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
초정밀 스테이지용 능동 진동제어시스템 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
자가보정 방법을 이용한 정밀 XY 스테이지의 오차 보정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
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