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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 공기정압 스테이지의 구조 및 기초특성
3. 이송특성 실험
4. 결론
참고문헌
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2000 .10
초정밀 3축 이송 스테이지의 설계, 모델링 및 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .10
공기정압 베어링의 정 동특성에 관한 연구 ( Static and Dynamic Characteristics of Aerostatic Gas Bearing )
Tribology and Lubricants
1990 .10
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2003 .10
70,000 r/min급 공기정압 베어링 주축의 가공 성능 평가
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
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2014 .05
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2012 .10
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
공기베어링 회전계의 설계변수와 회전계 특성 관계에 관한 연구
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2015 .04
Advanced aerostatic stability analysis of suspension bridges
Wind & structures
2004 .01
에어베어링을 이용한 회전형 스테이지 설계에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2007 .01
운동오차 능동보정형 자기예압 공기베어링 스테이지 특성 해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .04
전자빔 가공기용 진공 5 축 스테이지의 제어 및 운동특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
초정밀스테이지의 위치결정정도 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
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