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자료유형
학술저널
저자정보
김영식 (Kumoh National Institute of Technology) 박흥석 (Kumoh National Institute of Technology) 김인수 (Kumoh National Institute of Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.22 No.5
발행연도
2013.10
수록면
845 - 851 (7page)

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In this paper, a robust optimization approach is applied to the two-axes stage using a piezoelectric actuator for precise motion tracking. Robust control is based on LQG/LTR (linear quadratic Gaussian control with loop transfer recovery) control. Further, an LMI (linear matrix inequality) is used to find the optimal parameter in the loop transfer recovery step, instead of a trial and error method. A decoupler in the shape of FIR filter is added to reduce the coupling effect between the motions of the two axes, and hence, the feedback control loop is designed independently for each axis motion. The experimental result shows that the proposed control scheme can be applied effectively for motion control of the two-axes stage.
#LMI #LQG/LTR #Robust control #Two-axes precise stage

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 제어기 설계
3. 스테이지 특성
4. 스테이지 운동제어 실험
5. 결론
References

참고문헌 (12)

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1. [단행본] - Robers, C. A. / 1988 / Smart Materials, Structures, and Mathematical Issues / Technomic Publishing Co., Inc google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Ping, G. / 1995 / Modeling Hysteresis in Piezoceramic Actuators / Precision Engineering 17 (3) : 211 ~ 221 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Goldfard, M. / 1997 / A Lumped Parameter Electromechanical Model for Describing the Nonlinear Behavior of Piezoelectric Actuators / Transaction of the ASME 119 : 478 ~ 485 google schola 6. [학술지(정기간행물)] - Hashemi, S. / 1996 / The Interpretation of Singular Values in the Inversion of Minimum and Non-minimum Phase Systems / Mechanical Systems and Signal Processing 10 (3) : 225 ~ 240 google schola 7. [단행본] - Widrow, B. / 1985 / Adaptive Signal Processing / Prentice Hall google schola

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