공기정압 stage의 초정밀위치결정을 위한 기본특성

황주호; 김중천; 이재형; 박천홍

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 황주호 김중천 이재형 박천홍

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 2000年度秋季學術大會論文集

발행연도: 2000.10

수록면: 175 - 178 (4page)

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