고속ㆍ고하중용 나노구동 스테이지의 개발

류성훈; 한창수; 최기봉

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 류성훈 한창수 최기봉

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2003년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2003.10

수록면: 217 - 217 (1page)

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류성훈

소속기관 영우씨엔아이

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 6 이용수 266

한창수

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논문수 144 이용수 9,330

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