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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
발행연도
2007.3
수록면
671 - 676 (6page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 스테이지의 구동 원리
3. 스테이지의 고유치 해석
4. 스테이지의 동역학 해석
5. 스테이지 제작
6. 결론
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