AFM 스캐너용 초정밀 스테이지 개발

김유식; 문준희; 박희재

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김유식 문준희 박희재

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2003년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2003.10

수록면: 258 - 258 (1page)

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