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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.4
수록면
239 - 244 (6page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 스테이지 모델링
3. 제어기 설계
4. 스테이지 운동제어 실험
5. 결론
참고문헌

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